Objectiu rotatiu metàl·lic
S'apliquen camps magnètics i elèctrics ortogonals entre l'objectiu de la catòdica (càtode) i l'ànode.I ompliu el gas inert necessari (generalment gas Ar) a la cambra d'alt buit.Sota l'acció d'un camp elèctric, el gas Ar s'ionitza en ions positius i electrons.S'aplica una certa alta tensió negativa a l'objectiu, els electrons emesos per l'objectiu es veuen afectats pel camp magnètic, la probabilitat d'ionització del gas de treball augmenta, es forma un plasma d'alta densitat prop del càtode i els ions Ar es veuen afectats. per la força de Lorentz.A continuació, accelereu per volar a la superfície de l'objectiu i bombardegeu la superfície de l'objectiu a gran velocitat, de manera que els àtoms de l'objectiu segueixen el principi de conversió de l'impuls, volen des de la superfície de l'objectiu al substrat i dipositen una pel·lícula d'alta energia cinètica.
Per tal de millorar encara més la taxa d'utilització del material objectiu, es dissenya un càtode rotatiu amb una eficiència d'ús més alta i s'utilitza un material objectiu tubular per al recobriment sputtering.La millora de l'equip de pulverització requereix que l'objectiu es canviï d'una forma plana a una forma tubular, i la taxa d'utilització de l'objectiu giratori tubular pot arribar al 70%, cosa que resol en gran mesura el problema de la baixa utilització de l'objectiu pla.
Nom del producte | Objectiu rotatiu metàl·lic |
Material | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Mida de venda calenta | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm També es pot processar segons els requisits específics dels clients |
MOQ | 3 peces |
paquet | Caixa de fusta de capes |
Aplicació
El recobriment per pulverització és un nou tipus de mètode de recobriment de vapor físic.En comparació amb el mètode de recobriment per evaporació, té avantatges evidents
en molts aspectes.S'han utilitzat dianes metàl·liques en molts camps.La principal aplicació de la diana giratòria.
■Cèl·lules solars
■Vidre arquitectònic
■Vidre d'automòbil
■Semiconductor
■TV de pantalla plana, etc
Informació de la comanda
Les consultes i comandes han d'incloure la informació següent:
☑Especificació de l'objectiu ID×OD×L (mm).
☑Quantitat requerida.
☑Si us plau, poseu-vos en contacte amb nosaltres per a necessitats més especials.