Com funciona la pulverització de magnetrons?
La pulverització de magnetrons és un mètode de deposició física de vapor (PVD), una classe de processos de deposició al buit per produir pel·lícules primes i recobriments.
El nom "sputtering de magnetró" sorgeix de l'ús de camps magnètics per controlar el comportament de les partícules d'ions carregats en el procés de deposició de magnetrons.El procés requereix una cambra d'alt buit per crear un entorn de baixa pressió per a la poltrona.El gas que comprèn el plasma, normalment gas argó, entra primer a la cambra.
S'aplica una alta tensió negativa entre el càtode i l'ànode per iniciar la ionització del gas inert.Els ions d'argó positius del plasma xoquen amb el material objectiu carregat negativament.Cada col·lisió de partícules d'alta energia pot provocar que els àtoms de la superfície objectiu s'expulsin a l'entorn del buit i es propulsin a la superfície del substrat.
Un camp magnètic fort produeix una alta densitat de plasma en limitar els electrons a prop de la superfície objectiu, augmentant la velocitat de deposició i evitant danys al substrat pel bombardeig iònic.La majoria dels materials poden actuar com a objectiu per al procés de pulverització catòlica, ja que el sistema de pulverització de magnetrons no requereix la fusió ni l'evaporació del material d'origen.
Paràmetres del producte
Nom del producte | Objectiu de titani pur |
Grau | Gr1 |
Puresa | Més del 99,7% |
Densitat | 4,5 g/cm3 |
MOQ | 5 peces |
Mida de venda calenta | Φ95*40mm Φ98 * 45 mm Φ100 * 40 mm Φ128 * 45 mm |
Aplicació | Recobriment per a màquina PVD |
Mida d'estoc | Φ98 * 45 mm Φ100 * 40 mm |
Altres objectius disponibles | Molibdè (Mo) Chrome (Cr) TiAl Coure (Cu) Zirconi (Zr) |
Aplicació
■Revestiment de circuits integrats.
■Visualitzacions de panells de superfície de panells plans i altres components.
■Decoració i revestiment de vidre, etc.
Quins productes podem produir
■Objectiu pla de titani d'alta puresa (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Connexió roscada estàndard per a una fàcil instal·lació (M90, M80)
■Producció independent, preu assequible (qualitat controlable)
Informació de la comanda
Les consultes i comandes han d'incloure la informació següent:
■ Diàmetre, alçada (com ara Φ100 * 40 mm).
■ Mida del fil (com ara M90 * 2 mm).
■ Quantitat.
■ Demanda de puresa.